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CXS 系列 - 高階精密型


★ 軌道方式使用線性滾珠導引,哥德式弧型構槽在本體的上、下滑軌面,各由雙孤槽構成,單槽移動的鋼球是二點接觸的架構,雙弧槽總共四個接觸點,因此構成堅固的滑軌結構
★ 傳動方式-滾珠螺桿,透過鋼珠在螺帽與螺桿之間做滾動接觸,其定位精度與壽命較高,具備高速正逆向的傳動及變換傳動等特性
★ 材質-不銹鋼(耐腐蝕,耐熱)

更新日期:2021.03.02

型號

台面尺寸 (mm)

移動

行程 (mm)

傳動方式

軌道


解析度

(脈衝)(Full/Half)

最高速度(全步級)

單向定位精度(μm)

反復定位精度(μm)

荷重 (Kgf)

CXS50

50x50

20

30

滾珠螺桿Ø8 ,導程 1mm

線性滾珠導引式

 

M:1μm/0.5μm

J: 2μm/1μm

15 mm / sec 5  ±0.5

6

CXS60

60x60

20

30

50

7

CXS80

80x80

20

30

50

 

8

 

多點反復定位量測說明

♦   精度量測說明

1. 單向定位精度:在預定檢測的行程範圍內,由一起始位置開始,向一定方向順序做移動定位,檢測其實際
移動值與目標移動值之間的差值,並取其最大誤差值,此值即為單向定位精度。
2. 多點反復定位精度:預定檢測的行程範圍內,在機械程式執行時,反覆運行同一程序代碼所得到的位置精
度。計算反覆來回相同位置時,所產生的位置偏差,並取得兩者間的偏差值。

♦   精度介紹說明

1. 以符合光纖耦合、半導體製程之精度需求而設計GMT高階精度檢測方式。
2. GMT高階精密直線滑台模組系列的檢測採多點反復量測方式,即在固定行程範圍內做多點數量測取量(點數
多寡依行程長短做增減),並記錄往返位置誤差實際變化,追求高精度重現性。
3. 透過非接觸式的雷射干涉儀量測,確保單向定位在10μm內、多點反覆定位精度在1.5μm內。另有更高精度精度需求請與區域經銷/業務團隊洽詢。

 

軸向定義

關於移動軸、轉動軸名稱的定義,GMT公司作如下圖的定義:

水平方向為X、Y軸;垂直方向為Z軸;繞X、Y、Z軸的轉動分別記作α軸、β軸、θ軸。

綠色指向標記,為該產品之運動軸向。

 

馬達.驅動器對照表

 

更新日期:2021.03.02

型號

台面尺寸 (mm)

移動

行程 (mm)

傳動方式

軌道


解析度

(脈衝)(Full/Half)

最高速度(全步級)

單向定位精度(μm)

反復定位精度(μm)

荷重 (Kgf)

CXS50

50x50

20

30

滾珠螺桿Ø8 ,導程 1mm

線性滾珠導引式

 

M:1μm/0.5μm

J: 2μm/1μm

15 mm / sec 5  ±0.5

6

CXS60

60x60

20

30

50

7

CXS80

80x80

20

30

50

 

8

 

多點反復定位量測說明

♦   精度量測說明

1. 單向定位精度:在預定檢測的行程範圍內,由一起始位置開始,向一定方向順序做移動定位,檢測其實際
移動值與目標移動值之間的差值,並取其最大誤差值,此值即為單向定位精度。
2. 多點反復定位精度:預定檢測的行程範圍內,在機械程式執行時,反覆運行同一程序代碼所得到的位置精
度。計算反覆來回相同位置時,所產生的位置偏差,並取得兩者間的偏差值。

♦   精度介紹說明

1. 以符合光纖耦合、半導體製程之精度需求而設計GMT高階精度檢測方式。
2. GMT高階精密直線滑台模組系列的檢測採多點反復量測方式,即在固定行程範圍內做多點數量測取量(點數
多寡依行程長短做增減),並記錄往返位置誤差實際變化,追求高精度重現性。
3. 透過非接觸式的雷射干涉儀量測,確保單向定位在10μm內、多點反覆定位精度在1.5μm內。另有更高精度精度需求請與區域經銷/業務團隊洽詢。

 

軸向定義

關於移動軸、轉動軸名稱的定義,GMT公司作如下圖的定義:

水平方向為X、Y軸;垂直方向為Z軸;繞X、Y、Z軸的轉動分別記作α軸、β軸、θ軸。

綠色指向標記,為該產品之運動軸向。

 

馬達.驅動器對照表

 

商品規格
型號 CXS
類型 高階精密型
X軸
材質 不銹鋼
表面處理 鍍無電解鎳
軌道方式 線性滾珠導引式
傳動部件 滾珠螺桿