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AXYR XYθ三轴一体式精密电动滑台

AXYR产品可应用于小型面板生产、手机电子产业生产运用。 重量轻、速度快、精准高、零背隙,并且可长​​时间运转,其最大荷重可为25kg。
 型號 AXYR60-A2PR-ND AXYR80-A2PR-ND AXYR120-A2PR-ND
AXYR60-A2PL-ND AXYR80-A2PL-ND AXYR120-A2PL-ND
台面尺寸 Ø60 Ø80 Ø120
移動行程X轴 ±7.5mm ±12mm ±15mm
移動行程Y轴 ±7.5mm ±12mm ±15mm
移動行程θ轴 ±8.5° ±10°
傳動方式 螺桿傳動
軌道XY轴 交叉滾柱導引式
軌道θ轴 滾珠循環式
滑台材質/表面處理 鋁合金/陽極黑色
精度等級 P:精密型
馬達方向 R: 右側安裝 / L:左側安裝
XY軸解析度(脈衝)Full/Half 5μm / 2.5μm
θ軸解析度(脈衝)Full/Half 0.0056°/0.0028° 0.0047°/0.0023° 0.0034°/0.0017°
XY軸最高速度(全步級) 10mm/sec
θ軸最高速度(全步級) 8°/sec
XY軸單向定位精度 10μm
XY軸反復定位精度 ±1μm
θ軸單向定位精度 0.05°
θ軸往復定位精度 ±0.01°
荷重 6kgf 10kgf 25kgf
XY軸空轉 2μm
θ軸空轉 0.01°
平行度 20μm 30μm
運動同心度 20μm
運動平行度 10μm 15μm
馬達類型 2MS-N28D32A 2MS-N28D45A
馬達廠牌 GMT
 型號 AXYR60-A2PR-ND AXYR80-A2PR-ND AXYR120-A2PR-ND
AXYR60-A2PL-ND AXYR80-A2PL-ND AXYR120-A2PL-ND
台面尺寸 Ø60 Ø80 Ø120
移動行程X轴 ±7.5mm ±12mm ±15mm
移動行程Y轴 ±7.5mm ±12mm ±15mm
移動行程θ轴 ±8.5° ±10°
傳動方式 螺桿傳動
軌道XY轴 交叉滾柱導引式
軌道θ轴 滾珠循環式
滑台材質/表面處理 鋁合金/陽極黑色
精度等級 P:精密型
馬達方向 R: 右側安裝 / L:左側安裝
XY軸解析度(脈衝)Full/Half 5μm / 2.5μm
θ軸解析度(脈衝)Full/Half 0.0056°/0.0028° 0.0047°/0.0023° 0.0034°/0.0017°
XY軸最高速度(全步級) 10mm/sec
θ軸最高速度(全步級) 8°/sec
XY軸單向定位精度 10μm
XY軸反復定位精度 ±1μm
θ軸單向定位精度 0.05°
θ軸往復定位精度 ±0.01°
荷重 6kgf 10kgf 25kgf
XY軸空轉 2μm
θ軸空轉 0.01°
平行度 20μm 30μm
運動同心度 20μm
運動平行度 10μm 15μm
馬達類型 2MS-N28D32A 2MS-N28D45A
馬達廠牌 GMT
商品规格
型号 AXYR