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AXYR 三軸一體式精密電動滑台


三軸一體式設計:
★剛性大、能耗低、運用廣、操控容易
特性:
★低載化空間設計、力矩剛性高、滾珠螺桿驅動高壽命
專利:
★具角度調整功能之精密滑台,解決習用傳統方式所產生的問題
應用:
★AXYR 三軸一體式精密電動滑台可應用於小型面板生產、手機電子產業生產運用

更新日期:2020.03.23

 型號 AXYR60-A2PR-ND AXYR80-A2PR-ND AXYR120-A2PR-ND
AXYR60-A2PL-ND AXYR80-A2PL-ND AXYR120-A2PL-ND
台面尺寸 Ø60 Ø80 Ø120
移動行程X軸 ±7.5 mm ±12 mm ±15 mm
移動行程Y軸 ±7.5 mm ±12 mm ±15 mm
移動行程θ軸 ±8.5° ±10°
傳動方式 螺桿傳動
軌道XY軸 交叉滾柱導引式
軌道θ軸 交叉滾柱軸承
滑台材質/表面處理 鋁合金 / 黑色陽極處理
精度等級 P: 精密型
馬達方向 R: 右側安裝 / L: 左側安裝
XY軸解析度(脈衝)Full/Half 5 μm / 2.5 μm
θ軸解析度(脈衝)Full/Half 0.0056° / 0.0028° 0.0047° / 0.0023° 0.0034° / 0.0017°
XY軸最高速度(全步級) 10 mm / sec
θ軸最高速度(全步級) 8° / sec
XY軸單向定位精度 10 μm
XY軸反復定位精度 ±1 μm
θ軸單向定位精度 0.05°
θ軸反復定位精度 ±0.01°
荷重 6 kgf 10 kgf 25 kgf
XY軸空轉 2 μm
θ軸空轉 0.01°
平行度 20 μm 30 μm
運動同心度 20 μm
運動平行度 10 μm 15 μm
馬達類型 2MS-N28D32A 2MS-N28D45A
馬達廠牌 GMT

 

型號 AXYR60-A2UPR-CD AXYR80-A2UPR-CD AXYR120-A2UPR-CD
AXYR60-A2UPL-CD AXYR80-A2UPL-CD AXYR120-A2UPL-CD
台面尺寸 Ø60 Ø80 Ø120
移動行程X軸 ±7.5 mm ±12 mm ±15 mm
移動行程Y軸 ±7.5 mm ±12 mm ±15 mm
移動行程θ軸 ±8.5° ±10°
傳動方式 螺桿傳動
軌道XY軸 交叉滾柱導引式
軌道θ軸  交叉滾柱軸承
滑台材質/表面處理 鋁合金 / 黑色陽極處理
精度等級 UP: 超精密型

XY軸解析度(脈衝) Full/Half

2 μm / 1 μm
θ 軸解析度(脈衝) Full/Half 0.0022° / 0.0011° 0.0019° / 0.0009° 0.0013° / 0.0007°
XY軸最高速度 (全步級) 5 mm / sec
θ軸最高速度 (全步級) 8° / sec
XY軸單向定位精度 5 μm
XY軸反復定位精度 ±0.5 μm
θ軸單向定位精度 0.03°
θ軸反復定位精度 ±0.003°
荷重 6 kgf 10 kgf 25 kgf
XY軸空轉 1 μm
θ軸空轉 0.003°
平行度 20 μm 30 μm
運動同心度 20 μm
運動平行度 10 μm 15 μm
馬達類型 SH5281-7211 SH5285-7211 SH5285-7211
馬達廠牌 SANYO

更新日期:2020.03.23

 型號 AXYR60-A2PR-ND AXYR80-A2PR-ND AXYR120-A2PR-ND
AXYR60-A2PL-ND AXYR80-A2PL-ND AXYR120-A2PL-ND
台面尺寸 Ø60 Ø80 Ø120
移動行程X軸 ±7.5 mm ±12 mm ±15 mm
移動行程Y軸 ±7.5 mm ±12 mm ±15 mm
移動行程θ軸 ±8.5° ±10°
傳動方式 螺桿傳動
軌道XY軸 交叉滾柱導引式
軌道θ軸 交叉滾柱軸承
滑台材質/表面處理 鋁合金 / 黑色陽極處理
精度等級 P: 精密型
馬達方向 R: 右側安裝 / L: 左側安裝
XY軸解析度(脈衝)Full/Half 5 μm / 2.5 μm
θ軸解析度(脈衝)Full/Half 0.0056° / 0.0028° 0.0047° / 0.0023° 0.0034° / 0.0017°
XY軸最高速度(全步級) 10 mm / sec
θ軸最高速度(全步級) 8° / sec
XY軸單向定位精度 10 μm
XY軸反復定位精度 ±1 μm
θ軸單向定位精度 0.05°
θ軸反復定位精度 ±0.01°
荷重 6 kgf 10 kgf 25 kgf
XY軸空轉 2 μm
θ軸空轉 0.01°
平行度 20 μm 30 μm
運動同心度 20 μm
運動平行度 10 μm 15 μm
馬達類型 2MS-N28D32A 2MS-N28D45A
馬達廠牌 GMT

 

型號 AXYR60-A2UPR-CD AXYR80-A2UPR-CD AXYR120-A2UPR-CD
AXYR60-A2UPL-CD AXYR80-A2UPL-CD AXYR120-A2UPL-CD
台面尺寸 Ø60 Ø80 Ø120
移動行程X軸 ±7.5 mm ±12 mm ±15 mm
移動行程Y軸 ±7.5 mm ±12 mm ±15 mm
移動行程θ軸 ±8.5° ±10°
傳動方式 螺桿傳動
軌道XY軸 交叉滾柱導引式
軌道θ軸  交叉滾柱軸承
滑台材質/表面處理 鋁合金 / 黑色陽極處理
精度等級 UP: 超精密型

XY軸解析度(脈衝) Full/Half

2 μm / 1 μm
θ 軸解析度(脈衝) Full/Half 0.0022° / 0.0011° 0.0019° / 0.0009° 0.0013° / 0.0007°
XY軸最高速度 (全步級) 5 mm / sec
θ軸最高速度 (全步級) 8° / sec
XY軸單向定位精度 5 μm
XY軸反復定位精度 ±0.5 μm
θ軸單向定位精度 0.03°
θ軸反復定位精度 ±0.003°
荷重 6 kgf 10 kgf 25 kgf
XY軸空轉 1 μm
θ軸空轉 0.003°
平行度 20 μm 30 μm
運動同心度 20 μm
運動平行度 10 μm 15 μm
馬達類型 SH5281-7211 SH5285-7211 SH5285-7211
馬達廠牌 SANYO
商品規格
型號 AXYR
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